行业动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉设备特点是什么
发布时间:2023-03-06   浏览:6505次

  气相沉积炉设备特点是什么

  气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。

气相沉积炉

  装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下:

  1.多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  2.采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

  3.气相沉积炉设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。

  4.采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强。


免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

18 September 2023
真空烧结炉有哪些常见故障及解决方法

真空烧结炉有哪些常见故障及解决方法

  真空烧结炉有哪些常见故障及解决方法  真空烧结炉是一种复杂的设备,可能会出现各种故障。以下是真空烧结炉常见故障及解决方法:  1.真空泵无法启动:可能是由于电源连接不良或真空泵损坏等原因造成的。首先检查电源和线路是否正常,然后检查真空泵是否需要更换。  2.炉温计错误:可能是由于炉温计损坏或连接不良等原因造成的。首先检查炉温计连接是否良好,然后考虑更换炉温计。  3.漏气:可能是由于密封件老化、连接不紧或瓷烧结体裂纹等原因造成的。首先检查密封件是否需要更换,然后检查连接是否紧密。如果是瓷烧结体裂纹导致的漏气,需要更换瓷烧结体。  4.加热元件损坏:可能是由于长时间高温加热或反复升温和降温引起的,也可能是由于使用寿命到期或质量问题造成的。需要更换加热元件。  5.过热保护装置触发:可能是由于过热保护装置损坏或连接不良等原因造成的。需要检查过热保护装置,并考虑更换。  6.控制系统故障:可能是由于电源故障、控制器损坏或线路连接错误等原因造成的。首先检查电源和线路是否正常,然后检查控制器是否需要更换。  总之,真空烧结炉是一种复杂的设备,出现故障时需要仔细检查,找到故障原因并逐一排除。为了确保安全和稳定性,在使用前应仔细阅读设备说明书,遵循正确的操作规程。