行业动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉设备特点是什么
发布时间:2023-03-06   浏览:1412次

  气相沉积炉设备特点是什么

  气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。

气相沉积炉

  装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下:

  1.多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  2.采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

  3.气相沉积炉设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。

  4.采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强。


免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

30 December 2021
认识真空烧结炉热压系统

认识真空烧结炉热压系统

  认识真空烧结炉热压系统   工业领域烧结炉涵盖了市场上大部分的高温多晶硅铸锭炉烧结炉,按照行业来分,烧结炉的种类主要有:   1.硬质合金领域:   真空烧结炉,低压(60bar)烧结炉,真空脱脂烧结炉,低压脱脂烧结炉,低压脱脂烧结气淬炉(20bar);   2.粉末冶金领域:   连续式网带真空烧结炉(1150度),推杆式烧结炉(1250度),钢带烧结炉(1000度),回转式烧结炉等;   3.太阳能领域:   多晶硅铸锭炉也属于烧结炉的一种。   微波烧结炉的应用:   (1)透明型,主要是低损耗绝缘体,如大多数高分子材料及部分非金属材料,可使微波部分反射及部分穿透,很少吸收微波,这类材料可以长期处于微波场中,发热量极小,常用作加热腔体内的透波材料,如四氟乙烯等可用于微波真空腔体的透波隔板。   (2)全反射型,主要是导电性能良好的金属材料,这些材料对微波的反射系数接近于1,仅极少量的入射微波能透入,可用作微波加热设备中的波导、微波腔体、搅拌器等;   (3)吸收型,主要是一些介于金属与绝缘体之间的电介质材料,包括纺织纤维材料、纸张、木材、碳化硅、氧化锆、荧光粉、陶瓷、水、石蜡等,微波烧结技术的应用对象主要是陶瓷材料和金属粉末材料。   以上就是真空烧结炉厂家这次和大家分享的内容,如有需要,欢迎咨询我们。

14 March 2019
真空熔炼炉炼钢工艺简述

真空熔炼炉炼钢工艺简述

       真空熔炼炉以电能为主要能源。电能通过石墨电极与炉料放电拉弧,产生高达2000 ~ 6000℃以上的高温,以电弧辐射、温度对流和热传导的方式将废钢原料熔化。在炉料熔化时的大部分时间里,高温热源被炉料所包围,高温废气造成的热损失相对较少,因此热效率高于转炉等其他炼钢设备。                   此外,电加热容易精确地控制炉温,可以根据工艺要求在氧化气氛或还原气氛、常压或真空等任何条件下进行加热操作。   真空熔炼炉炼钢工艺流程短,设备简单,操作方便,比较易于控制污染,建设投资少,占地面积小,不需要像转炉炼钢那样必须依托于庞杂的炼铁系统。   同时,真空熔炼炉炼钢对炉料的适应性强,它以废钢为主要原料,但同时也能使用铁水(高炉或化铁炉铁水)、海绵铁(DRI)或热压块(HBI)、生铁块等固态和液态含铁原料。   另外,真空熔炼炉炉渣调整或更换的操作比较易行,而且能够在同一套操作系统之中来完成熔化、脱碳、脱磷、去气、除夹杂,温度控制、成分调整(合金化)等各阶段的复杂工艺操作。电弧炉炼钢可以间断性生产,在一定范围内可以灵活地调换生产品种。此外,现代电弧炉还可以大量使用辅助能源,如喷吹重(轻)油、煤粉、天然气 等。因此,电弧炉炼钢工艺适应性强,操作灵活,应用广泛。