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真空烧结炉结构特点是什么
发布时间:2022-03-24   浏览:3690次

  真空烧结炉结构特点是什么

  真空烧结炉炉体为立式炉壳,其内层为不锈钢制成的圆筒,外层为碳钢。炉体分为两部分,其中三分之一为炉盖可手动完全侧开门,三分之二部分为固定炉体,设计独特,便于操作。两层之间形成夹套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走,使炉壁温度不超过60℃,其上下法兰焊接为一个整体。中间开有红外测温孔(有保护气氛通气口),热电偶测温孔、抽气孔及观察孔,铂铑热电偶有到温自动退出装置,红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置,操作人员使用的观察孔设有挡板。

真空烧结炉

  真空系统:由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀(防止因突然停电、机械泵油倒灌)充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表(±Pa)波纹管、真空管路和支架等组成。

  液压系统:真空烧结炉采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器采用光栅尺(测距精度0.02mm)、液压缸等相关液压装置,压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力,并能实现稳压、保压。

  水冷系统:由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。

  温控系统:采用可控硅控温,配置有PID功能仪表,数显表,具有超温声光报警功能,也可选用PLC触摸屏自动控制,并保留历史数据,便于分析烧结过程。

  充气系统:由各种管道及阀门组成,并配有电磁放气阀、压力传感器,当真空烧结炉炉内压力高于安全值时会自动放气,充气管路上装有针阀,可控制充气量。

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 气相沉积炉关键参数如何设置以优化生产过程气相沉积炉作为现代材料制备领域的重要设备,其性能的优劣直接关系到产品的质量和生产效率。为了优化生产过程,提高产品质量,必须对气相沉积炉的关键参数进行精确设置。气相沉积炉厂家洛阳八佳电气将详细介绍如何设置气相沉积炉的关键参数,以优化生产过程。 一、温度参数的设置温度是气相沉积过程中关键的参数之一。它直接影响着原料气体的分解、化合以及薄膜的生长速率。在设置温度参数时,需要根据具体的材料体系和工艺要求,精确控制炉内的温度。对于高温沉积过程,如碳化硅外延,温度通常设置在1600℃至1650℃之间,以确保原料气体充分反应,形成高质量的薄膜。同时,温度控制精度也非常重要,一般要求达到±1℃,以保证薄膜的均匀性和稳定性。 二、压力参数的调整炉内压力对气相沉积过程具有重要影响。压力参数的设置需要考虑到气体分子的扩散速率与碰撞频率,进而影响到薄膜的生长过程。在高压条件下,气体分子的扩散速率降低,可能导致薄膜生长速率减缓;而在低压条件下,气体分子的平均自由程增加,有利于薄膜的均匀生长。因此,在设置压力参数时,需要根据实际情况进行调整,以获得理想的薄膜生长效果。 三、气体流量与组分的控制气体流量与组分是气相沉积过程中的另外两个关键参数。气体流量的大小直接决定了原料气体在炉内的浓度分布,进而影响薄膜的生长速率与厚度。组分则决定了薄膜的化学组成与性能。在设置气体流量与组分时,需要根据所需的薄膜材料体系,精确控制气体流量与组分,确保薄膜的成分与性能符合设计要求。 四、基底参数的优化基底作为薄膜生长的载体,其材质、温度、表面状态等参数也会对气相沉积过程产生影响。在设置基底参数时,需要对基底进行充分的预处理,确保其表面状态良好,并根据实际情况调整基底的温度,以获得理想的薄膜生长效果。例如,在碳化硅外延过程中,基底的旋转性能和表面粗糙度对薄膜质量有着重要影响。 五、沉积时间的精确控制沉积时间是控制薄膜厚度的关键参数。过短的沉积时间可能导致薄膜厚度不足,影响性能;而过长的沉积时间则可能导致薄膜过厚,增加生产成本。因此,在设置沉积时间时,需要根据所需的薄膜厚度与生长速率,精确控制沉积时间,确保薄膜的厚度符合设计要求。 六、设备性能与自动化的考虑除了上述关键参数外,设备的性能和自动化程度也是优化生产过程的重要因素。例如,江苏前锦炉业设备有限公司生产的高真空CVD系统,采用双温区设计,可实现一边进气做气相沉积同时还能抽真空,保持炉膛内的真空度为负压的状态。同时,设备采用PID温控调节,使炉温控制精度达到±1℃,搭配全自动控制系统,大大提高了生产效率和产品质量。综上所述,通过精确设置气相沉积炉的温度、压力、气体流量与组分、基底参数以及沉积时间等关键参数,并结合先进的设备性能和自动化技术,可以有效优化生产过程,提高产品质量和生产效率。