气相沉积炉的特点是什么 　　气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。 　　设备特点在于：(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层，特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。 　　下面小编详细列举几条炉子的特点，以便大家能更好的了解炉子的性能。 　　气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；并且，采用多温区独立控温，温度均匀性好； 　　与此同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 　　气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 　　气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

　　真空甩带炉中真空泵的维护和注意事项的了解 　　真空甩带炉中真空泵的清洗：泵油随着炉中真空泵的运转恶劣，因而需要通过油视窗查明的污浊程度及粘度情况，并及时替换真炉中泵油。周期：每六个月换油清洗一次。 　　泵油替换步骤如下： 　　1、打开泵的吸气管，5秒后使其开始运行。真空甩带炉中泵内剩下的泵油容易被排除。 　　2、先拆下排气管，再打开放油阀，然后倒出泵油。 　　3、关闭排油阀，把新的真空泵油从加油口注入。 　　4、如果真空甩带炉中泵油的污染非常严重，必须添加些新泵油，通过几分钟运转使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必须反复多清洗几遍。 　　5、换上新泵油后，让炉中泵开机运行，等炉的温度升高以后在确认真空及限压力。 　　6、检修过程需清洗过滤网。 　　真空甩带炉中真空泵在运行过程中的注意事项： 　　A、真空泵在炉中长时间运转中产生高温（40度-80度）。因此炉子在操作或刚停止运行后，在电机和泵体冷却到正常温度以前，不能触摸表面。 　　E、维护保养炉中设备所使用的布条碎布等集中放置到规定的堆放地点，防止杂物进入泵内。 　　B、工作时发生紧急情况，立即关闭总电源后保修解决。 　　D、非维修人员严禁拆卸炉中真空泵零部件。 　　C、真空甩带炉中设备若异常应立即停止运行，禁止强灌，持续带病工作。