气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　真空熔炼炉的优点有哪些　　真空熔炼炉主要用于烧结活性和不溶性金属、硬质合金、磁性材料和不锈钢。实际上是低压（减压）烧结。真空度越高，与中性大气的距离越近，材料发生的化学反应就越少。它的主要优点是：　　（1）真空有利于吸附气体的去除，对烧结后期的收缩有明显的促进作用。　　（2）真空有利于去除硅、铝、镁、钙及其氧化物等杂质，起到净化材料的作用。　　（3）真空可以提高液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩，改善合金的组织。　　（4）真空是一种理想的惰性气体。当其它一次或惰性气体不合适，或材料容易脱碳和渗碳时，可采用真空熔炼炉。　　（5）减少大气中有害成分（水、氧、氮等）对产品的污染。例如，将电解氢中的含水量降低到-40℃是困难的，而在真空烧结中，只要在几百帕的范围内。　　粘结金属在真空液相烧结过程中的挥发损失是一个重要问题。这不仅改变和影响了合金的成分和结构，而且阻碍了烧结过程本身。粘结金属的挥发损失主要发生在烧结后期（即保温阶段）。真空熔炼炉保温时间越长，粘结金属的挥发损失越大。因此，化学杂质、水和其他材料与材料中的碳发生反应，导致一氧化碳与炉内排放。此时，炉压明显升高，合金中总碳含量降低。显然，碳含量的变化取决于原料粉末中的氧含量和烧结过程中的真空度。二者越高，产生一氧化碳的反应越容易，脱碳越严重。

　　使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项　　使用气相沉积炉时需要特别注意以下几点。大家一起看看吧。　　1、模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用，加压前计算模具上、下冲头面积，换算成压力。具体公式如下：系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa　　2、热电偶为钨铼型，使用后变脆，不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。　　3、冬季要注意气相沉积炉循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。　　4、使用后炉体应保持真空，炉内保温层容易受潮，保持真空下次抽真空会更快。　　5、设备复杂，建议专人使用，专人负责，严格对初学者进行使用前培训，有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。　　6、气相沉积炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时，请注意在炉内放置坩埚后，合上保温板盖后，不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。　　7、操作前观察窗玻璃清洁，清扫炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨有无损伤，开机后观察仪表显示是否正常，测试液压系统是否正常工作。　　8、气相沉积炉使用一年后，应将仪器送计量部门校准。

　　这些石墨化炉的相关知识点你知道吗　　当我们看到石墨化炉的时候，相信有的人很熟悉，有的人会觉得很陌生。不过不用担心，作为厂家，我们借此机会今天给大家讲一些和石墨炉有关的相关知识点。　　在使用石墨化炉的时候，我们应该知道它的主要用途。硬质合金材料的高温烧结:电池材料的高温处理;石墨粉的高温处理:高导热薄膜的烧结:在这些地方也可以看到。所以在这里工作的人都很熟悉。另外，在操作炉子时我们需要知道的是，它也可以用于一些碳纤维碳化和石墨化处理;触头、陶瓷、高温部件都是用高温烧结。可见起到的作用也是相当大的。　　一般的石墨化炉仪器说明书上面有的常规步骤就不多说了，大家可以知道仪器设备状态的正常时取得一个准确分析数据的先决条件，但是他们有时仪器自检也许是已经通过了，但是对于有些仪器部分主要还是发展需要提高大家来检查。　　1.光谱仪部分：见灯负高压正常范围(一般在450-650v)，如突然发现负高压，估计会检查光路，看是否有异物堵塞光，镜头雾水，需要使用镜子纸或电吹风，并检查环境温湿度标准。　　2.自动取样器：先观察自动取样器管路是否异常，有时一夜或更长时间不使用，以及解决方案。待测溶液可能在管道中，在自动取样器毛细管中蒸发结晶，导致自动取样器堵塞，或管道不平整。此时，当大型石墨化炉仪器处于清洗过程中时，毛细管流出的水滴速度会减慢。或者可以延迟吸水。要看溶液是否能准确地注入石墨管中，还要注意检查毛细管样品的清洗情况，是否有水珠，是否可以用酒精或稀硝酸擦洗。接下来，检查冷却循环水的压力是否在允许范围内。

　　石墨化炉的性能有哪些　　石墨化炉常用于3200℃以内的高温炉。用于各种高导热石墨膜(PI膜)、锂电池正极材料、碳素材料的碳化石墨化，生产碳素材料。碳丝和其他可在碳环境中烧结的材料的成型石墨化。　　石墨化炉结构组成由炉体、炉盖、加热感应器、保温层及电极引出装置、水循环分配系统、真空系统、温控系统等。电器系统由电源采用60KVA、IGBT晶体管中频电源和水冷电缆，中频电源装置设有中频功率、电压、中频频率、直流电压、电流等指示仪表，操作显示器件（中频电源具备零点动功能）。控制回路具备过压、过流、断水等声光报警功能。控制部分以15寸触摸屏和可编程控制器PLC为核心。　　了解了炉子的基本组成结构后，厂家带大家了解下炉子的性能：　　1、使用温度高达2800度，温度均匀性好，设备运行故障率低。　　2、带有红外测温及控温系统，可实时显示并PID自动控制(如下图)炉内的温度，生产的产品质量稳定。同时保障产品的要求。　　3、采用三相电供电方式，三相电力平衡，性能稳定。不象碳管炉采用单相供电，相电压不平衡，对电网冲击大，影响其他设备运转。　　4、使用温度高，高温度可达3000℃，石墨化炉可工作在2600-2800℃　　5、采用碳毡做保温材料，没有使用碳黑，更换碳管方便，同时干净卫生。　　6、升温时间短，可达200℃/小时。　　7、炉体密封性好，保护气体损耗小。所有法兰和炉盖都采用密封条进行密封。　　8、炉体内胆和法兰采用不锈钢制作，不生锈，使用寿命长。　　9、石墨化炉配有真空泵用于炉内气体的置换，换气时间短，用气量少。

　　真空熔炼炉常见的故障及处理方式　　真空熔炼炉在使用长时间后会出现一些故障，这是在所难免的。今天八佳小编就和大家说说当故障出现，要做哪些处理方法。　　1、故障现象:真空熔炼炉运行正常,但在正常过流保护动作时烧毁较多的是KP晶闸管和快熔。　　分析处理:过流保护时为了向电网释放平波电抗器的能量,整流桥由整流状态转到逆变状态,这时如果α>120度;,就有可能造成有源逆变颠覆,烧毁多只晶闸管和快熔,开关跳伴随有巨大的电流短路爆炸声,对变压器产生较大的电流和电磁力冲击,严重时会损坏变亚器。　　2、故障现象:真空熔炼炉运行正常,但在高电压区内某点附近设备工作不稳定,直流电压表晃动,设备伴随有吱吱的声音,这种情况极容易造成逆变桥颠覆烧毁晶闸管。　　分析处理:这种故障较难排除,多发生于设备的某部件高压打火:　　(1)真空熔炼炉的连接铜排接头螺丝松动造成打火　　(2)断路器主接头氧化导致打火;　　(3)补偿电容接线桩螺丝松动，引起打火，补偿电容内部放电阻容吸收电打火;　　(4)水冷散热器绝缘部分太脏或炭化对地打火;　　(5)真空熔炼炉炉体感应线圈对炉壳/炉底板打火，炉体感应线圈匝间距太近，匝间打火或起弧。固定炉体感应线圈的绝缘柱因高温炭化放电打火　　(6)晶闸管内部打火。　　以上就是真空熔炼炉厂家分析的两种常见的故障。大家明白了吗?如果还有不明白，也可以打电话咨询。

　　真空烧结炉使用这7点可得注意　　真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。使用时我们应该知道哪些事项?　　1、检查真空烧结炉控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。　　2、控制柜安装在相应的地基上，并固定。　　3、安照接线图，并参考真空烧结炉原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。真空烧结炉各阀门须在关闭位置。控制电源开关放在关位。　　6、手动调压旋钮逆时针旋动头。　　7、报警钮放在开位。　　按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在真空烧结炉总进出水管处再接入一备用水(可用自来水)，防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

　　真空烧结炉是如何改善陶瓷材料性能的　　真空烧结炉是将具有特定化学成分和物理功用的材料转变成特定结构的陶瓷材料，使之在高真空条件下烧结。传统上用真空烧结来取得高温高质量的制品，但因为高温下烧结产生气孔、裂纹、夹渣、组织疏松等缺陷。为了战胜传统烧结过程中的这些缺陷，人们通过改变烧结气氛进行实验，并不断改善工艺来取得具有优良功用的陶瓷制品。　　真空烧结炉的真空辅佐加热技能可以提高样品在高温下的质量稳定性，且在改善材料功用与质量稳定性方面作用明显，尤其是对一些高温条件下构成晶粒细微、细密组织或结构愈加明显。　　真空烧结炉的保养，一般包含以下几点：　　1、操作前首先查看炉体的真空度，当炉体的真空度计显现为0.12Pa~0.3Pa时，即可投入作业；　　2、当炉内的作业温度抵达300℃以上时，请使用不锈钢加热器以确保炉体的安全性；　　3、为避免炉内产生过多水蒸气影响其散热作用，主张选用空气加热器进行加热；　　4、因为真空烧结炉的作业环境比较恶劣（温度高达500℃以上），为了确保其正常运转和延伸其使用寿命，主张您每半年对真空烧结炉进行一次全方面的保护保养作业。

　　真空烧结炉如何进行硬质合金烧结　　真空烧结炉是一种在高温下，使陶瓷生坯固体颗粒的彼此键联，晶粒长大，空位(气孔)和晶界渐趋减少，经过物质的传递，其总体积缩短，密度增加，终究成为具有某种显微结构的细密多晶烧结体的炉具。　　真空烧结炉进行硬质合金烧结时，是将粘结相，以金属(Co，Ni)为主，也称金属陶瓷材料，和陶瓷相(以TiC，TaC，NbC)为基，温度高于粘结相而融为一体，达到这一进程叫做烧结工艺。　　真空烧结炉首要用于陶瓷粉体、陶瓷插芯和其他氧化锆陶瓷的烧结，金刚石锯片的烧结，也可用于铜材，钢带退火等热处理，也可用于厚膜电路、厚膜电阻、电子元件电极、LTCC、钢加热器、太阳能电池板等类似产品的高温烧结、热处理。真空烧结炉首要应用在钢铁作业、冶金作业、新材料作业等。　　工业领域真空烧结炉涵盖了市场上大部分的高温多晶硅铸锭炉真空烧结炉，依照作业来分，真空烧结炉的品种首要有:　　1.硬质合金领域:　　低压(60bar)真空烧结炉，真空脱脂真空烧结炉，低压脱脂真空烧结炉，低压脱脂烧结气淬炉(20bar);　　2.粉末冶金领域:　　连续式网带真空烧结炉(1150度)，推杆式真空烧结炉(1250度)，钢带真空烧结炉(1000度)，回转式真空烧结炉等;　　3.太阳能领域:　　多晶硅铸锭炉也归于真空烧结炉的一种。

　　真空烧结炉的安全操作规程26条：　　1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水有必要充溢，水中不得有杂质。　　2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规则值。　　3．查看真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封查询孔中线。查看妥后，人工翻滚真空泵皮带盘，如无失常，可在关闭蝶阀的状况下，建议真空泵。　　4．查看真空炉体内状况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘出色，密封真空胶带具有弹性，标准合格。　　5．查看真空炉体的杠杆手把建议是否灵活。　　6．查看翻滚式麦氏真空计是否符合要求。　　7．查看石墨坩埚，装炉配件是否完全。　　8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频建议规则，试建议变频，成功后连续变频，方可开炉。　　9．真空炉体上盖的查询、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便查询和测温。　　10．装炉时应根据不同烧结产品，采用相应装炉方式。按有关材料装炉规则装盘，不得随意更改。　　11．为了坚持恒温，避免热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。　　12．垫好真空密封胶带。　　13．操作杠杆手把，翻滚真空炉顶盖与炉体亲近重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。　　14．缓缓翻开蝶阀，抽炉体空气，至真空度抵达规则值。　　15．在真空度抵达规则要求后，开始建议变频，调整中频功率，按有关材料的烧结规则操作；升温、保温冷却。　　16．烧结结束后，连续变频，按连续变频开关，逆变连续作业，断开中频电源分闸与断开电源总闸。　　17．从炉体查询孔查询炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，毕竟停水泵。　　18．中频电压750伏有触电风险。在整个操作和查看过程中，要留神操作安全，不要用手触摸中频电柜。　　19．在烧结过程中，随时从炉体周围面查询孔查询感应圈是否产生放弧现象，如发现失常现象，应立即陈说有关人员处理。　　20．建议真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。　　21．正确运用翻滚式麦氏真空计，否则会构成真空读数差错或因操作过急而使水银溢出构成公害。　　22．留神真空泵皮带盘安全工作。　　23．在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，留神避免压手。　　24．凡在真空条件下，简略蒸腾影响真空卫生，构成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。　　25．凡产品加有成型剂(如油或白腊)，有必要脱掉方可入炉烧结，否则会构成不良后果。　　26．悉数烧结过程中，要留神水表压力规模和冷却水循环，避免产生事端。

　　真空气氛烧结炉温度不达标的处理方法　　真空气氛烧结炉在高温实验中，温度不能达到实验温度值，可对电气系统进行校准，于一些常见的常压炉，假定温度上升非常缓慢，则需求检查空气循环系统，检查空气循环调度风门是否正确翻开，反之亦然，并检查空气循环电机是否正常作业。　　当设备在查验作业中遽然产生缺陷时，操控表面上会出现相应的缺陷闪现提示和动态报警提示。操作员可以根据“设备操作和运用中的缺陷打扫”一章快速检查缺陷归于哪种类型，然后请技术人员快速打扫缺陷，以保证查验的正常作业。其他环境实验设备在运用中会有其他现象，因此有必要剖析和消除特定现象。　　假定设备的低温不能抵达查验政策，查询温度改动，温度下降非常缓慢仍是在抵达必定值后趋于上升。前者应该连续。真空气氛炉是否在低温实验前单调作业室，并在实验后坚持作业室单调。假定作业室中的查验样本太多，作业室中的风就无法完全活动。　　真空气氛烧结炉常见的故障现象及解决方案，如下：　　故障一：真空度低　　原因：泵油污染、太少或太稀。　　解决方案：清洁真空泵并更换新的真空泵。　　故障二：抽气时间太短　　解决方案：延长抽气时间。　　故障三：排气滤清器堵塞　　清洁或更换排气滤清器。　　故障四：漏气：　　排空后关闭电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸入阀、工作室周围密封垫是否漏气。　　故障五：噪音大　　真空泵联轴器磨损或损坏，应更换。　　故障六：排气滤清器堵塞或安装不正确　　清洁或更换排气滤清器并正确安装。　　故障七：真空泵注油　　吸入阀的O形圈脱落，拔出泵喷嘴上的真空管，拆下吸入喷嘴，取出压缩弹簧和吸入阀，轻轻拉伸O形圈几次，重新插入凹槽，然后安装。

　　真空烧结炉的主要功能和特点：　　1、加热元件均匀的散布在圆形或方形氧化铝炉膛内，散布合理，温场均匀性好，可抽真空，真空度可达0.05mPa以下，并能通入多种维护气氛；　　2、炉膛选用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，经用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果显着优于国内纤维材料；　　3、加热元件的发热温度：　　1）加热元件选用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2，发热温度可达1300℃；　　2）加热元件选用优质硅碳棒，发热温度可达1450℃；　　3）加热元件选用优质硅钼棒，发热温度可达1850℃；　　4、炉门选用循环水冷体系，可有用保证整体的密封性；　　5、可以预抽真空并能通氨分解气、氩气、氮气等气体，炉内设有充气超压防爆体系；　　6、可以预设多条加热曲线，分配给不同的烧结材料，需求时直接调用，互不烦扰，无需重复批改温度参数；　　7、装备进口压力传感器，过压自动泄压维护，操作安全可靠；　　8、预留了485转化接口，可通过我司专用软件，与计算机互联，可完成单台或许多台电炉、实时、历史记录、输出报表等功能；　　9、超温报警并断电，漏电维护，操作安全可靠。