真空熔炼炉烘炉的三个阶段分别是什么 　　对真空熔炼炉进行维修后，要进行烘炉、必须对真空炉进行真空检漏。烘炉前，可用1000V摇表检测真空炉的绝缘，正常不小于2MΩ。炉子烘炉分三个阶段： 　　①水分排出期O～200℃，是真空炉保温层中的水分和真空炉体中潮气的排出期，必须检查真空炉真空度，同时保温时间较长。 　　②真空炉体放气量大的温度区一般在500℃左右，因真空炉放气量比较大，这时升温不超过50℃/h。保温时间一般在60分钟以上。 　　③保温期1200℃左右，加热每升高100～200℃，要进行保温一段时间，升温过快易损坏保温层、真空炉放气不完全。 　　真空熔炼炉使用维护操作规程，建立炉子运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据真空炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备真空炉修理用零部件，编制真空炉运行维护方案。 　　如真空熔炼炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次.这取决于钎焊工作的类型和使用次数。 　　真空熔炼炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。 　　

　　气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。