真空甩带炉适用于各大科研院所材料研究所内所有使用本设备的人员。以保证该设备正常运转八佳特制定本作业指导书。         　　真空甩带炉厂家总结了以下作业步骤： 　　1、 卸空瓶：顺时针转动空钢瓶上的放气阀，使之关闭;逆时针旋动减压阀上的小阀至“shut”。利用扳手逆时针拧动连接钢瓶与减压阀之间的螺丝直至将两者分开，将减压阀置于不易掉落之地。 　　2、 装新瓶：将空钢瓶小心挪出，置于闲处;将新钢瓶挪入原空瓶处，并装上减压阀，确保连接牢靠不漏气。将钢瓶的放气阀逆时针拧开，减压阀“shut”。 　　3、 开电源：将对真空甩带炉面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”。 　　4、 洗气过程： 　　1) 按下机械泵电源按钮，等待2分钟;抽出机械泵拉杆(具体方法参见《真空甩带机作业指导书》)。 　　2) 开充气阀：将充气阀(甩带炉腔体右悬臂下)逆时针旋转90度，使之平行于该装置。 　　3) 按下“充气Ⅰ”;待氩气罐气压表(前面板左下)指针指向“-0.01MPa”。 　　4) 关充气阀：顺时针旋转真空甩带炉充气阀90度，使之与该装置垂直。 　　5) 给氩气罐充气：顺时针旋转减压阀上的小阀至“open”，观察氩气罐气压表为“0.08MPa”时，逆时针旋转小阀至“shut”。 　　6) 重复第2)步骤;待氩气罐气压表指向“-0.01MPa”时，重复第4)步骤。 　　7) 重复第5)、6)步骤各一次。 　　8) 洗气结束：顺时针旋转真空甩带炉减压阀上的小阀至“open”，观察氩气罐气压表为“0.08MPa”时，关闭“充气Ⅰ”;将机械泵拉杆推进(具体方法参见《真空甩带机作业指导书》)，关闭机械泵电源按钮。 　　5、 关电源：将真空甩带炉总电源闸刀拉下至“off”清理现场，做好“5S”工作，保持现场整洁。

　　气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。