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气相沉积炉设备特点是什么
发布时间:2023-03-06   浏览:7354次

  气相沉积炉设备特点是什么

  气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。

气相沉积炉

  装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下:

  1.多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  2.采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

  3.气相沉积炉设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。

  4.采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强。


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12 April 2021
气相沉积炉的特点是什么

气相沉积炉的特点是什么

  气相沉积炉的特点是什么   气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。   设备特点在于:(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层,特别是在低温下可以合成高熔点物质,在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。   下面小编详细列举几条炉子的特点,以便大家能更好的了解炉子的性能。   气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;并且,采用多温区独立控温,温度均匀性好;   与此同时采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;   气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;   气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。