行业动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉的特点是什么
发布时间:2021-04-12   浏览:6357次

  气相沉积炉的特点是什么

  气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。

气相沉积炉的特点是什么

  设备特点在于:(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层,特别是在低温下可以合成高熔点物质,在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。

  下面小编详细列举几条炉子的特点,以便大家能更好的了解炉子的性能。

  气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;并且,采用多温区独立控温,温度均匀性好;

  与此同时采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

  气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

22 November 2021
真空烧结炉原理是什么

真空烧结炉原理是什么

  真空烧结炉原理是什么   真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子,其加热方式比较多,如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子,可分为工频、中频、高频等类型,可以归属于烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下,利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备,是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。   一、主要原理及用途   真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。   二、主要结构及组成   结构形式多为立式、下出料方式。其主要组成为:电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及高及保温材料)、进电装置、中频电源及电气控制系统等。   三、主要功能   在抽真空后充入氢气保护气体,控制真空烧结炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0~℃),并通过智能控温仪与设定程序相比较后,选择执行状态反馈给中频电源,自动控制温度的高低及保温程序。