气相沉积炉的特点是什么 　　气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。 　　设备特点在于：(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层，特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。 　　下面小编详细列举几条炉子的特点，以便大家能更好的了解炉子的性能。 　　气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；并且，采用多温区独立控温，温度均匀性好； 　　与此同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 　　气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 　　气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

　　真空速凝炉各组成部分及工作原理 　　真空速凝炉是利用真空感应熔炼的方法，在真空或惰性气体状态下把合金原料熔炼并浇铸在水冷辊上急速凝固后再在水冷盘上进行慢速降温。把合金变成30°C左右且大小、薄厚均匀的合金薄片的一种电热设备。速凝炉已成为制造合金薄片的生产专用熔炼设备在钕铁硼磁材的生产中可有效地减少ɑ-Fe生成。 　　真空速凝炉炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套，可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走,以使炉壁温度不超过60℃。中间开有保护气氛通气口。热电偶测温孔、抽气孔及观察孔。热电偶有到温自动退出装置。红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置,操作人员使用的观察孔设有挡板。 　　炉盖有内外封头和法兰组成,中间水冷炉盖吊在启闭机构上,板动启动机构上的手柄可以将真空速凝炉炉盖升启10-15mm,炉盖上有压头、压力传感器、排气隔膜阀及炉盖锁紧装置。 　　炉底也是由内外封头和法兰组成,中间水冷,固定在炉体底部,有电极引入,下压头进气隔膜阀等组成,并装可调节高度位移传感器。 　　电炉真空系统采用配电磁放气阀及油扩散泵。同时真空速凝炉还设有冷阱及机组，测量为复合真空计。