气相沉积炉的特点是什么 　　气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。 　　设备特点在于：(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层，特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。 　　下面小编详细列举几条炉子的特点，以便大家能更好的了解炉子的性能。 　　气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；并且，采用多温区独立控温，温度均匀性好； 　　与此同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 　　气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 　　气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

　　关于真空烧结炉组件介绍 　　真空烧结炉主要用于金属陶瓷材料、复合陶瓷材料、纳米相材料，梯度功能材料，介孔纳米热电材料，高熔点材料及耐火材料等材料的快速、高品位热压烧结。广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理，也可在充气保护情况下热压成形烧结。 　　下面介绍下炉体组成部分： 　　炉体部分：炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走，使炉壁温度不超过60℃，其上下法兰焊接为一个整体。中间开有红外测温孔(有保护气氛通气口)，热电偶测温孔、抽气孔及观察孔，铂铑热电偶有到温自动退出装置，红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置，操作人员使用的观察孔设有挡板。 　　炉体上是炉盖，它是有内外封头和法兰组成，中间水冷炉盖吊在启闭机构上，板动启动机构上的手柄可以将真空烧结炉炉盖升启10－15mm，炉盖上有压头，压力传感器、排气隔膜阀及炉盖锁紧装置。 　　炉底部分：它也是由内外封头和法兰组成，中间水冷，固定在炉体底部，有电极引入，下压头进气隔膜阀等组成，并装可调节高度位移传感器。 　　炉架上有上梁、炉架、底及立柱等组成，作为上下压头支座。 　　炉内发热元件采用石墨，保温材料采用石墨毡及石墨筒为隔热屏，上、下压头采用高强度石墨。 　　液压采用电动输入方式自动调节，配有液压锁及转向阀等相关装置，压力、位移均采用数显方式。 　　真空烧结炉真空系统采用2X-30机械泵(配电磁放气阀)及K-200油扩散泵，同时设有冷阱及机组。真空测量为复合真空计。真空系统还配有放气阀、充气阀，真空连接软管采用不锈钢金属软管。