气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　真空速凝炉的常见故障　　真空速凝炉由于长时间使用和操作不当等原因，可能会出现以下常见故障：　　1.真空系统漏气：真空泵、阀门等部件没有安装好或密封不严密，导致室内气体无法完全抽出。　　2.加热元件失效：电加热器、感应线圈等加热元件长期高温使用后容易老化或损坏，导致无法正常加热。　　3.高压惯性气体喷嘴堵塞：在制备过程中，高压惯性气体喷嘴可能被金属材料或其他杂质堵塞，影响气流的正常流动和冷却效果。　　4.熔融室爆裂：熔融室承受高温和高压的刺激，容易出现裂纹或爆裂现象。　　5.控制系统出现问题：计算机或PLC控制系统出现故障，可能导致加热、冷却、真空度等参数控制不准确。　　6.其他故障：还包括电源故障、传感器异常、设备损坏等。　　总之，在操作真空速凝炉时，需要严格遵守设备使用说明和安全规范，及时进行维护和保养，避免故障的发生。一旦出现故障，应该根据具体情况进行检查、维修或更换相关部件。