真空烧结炉腔体加工要点
真空烧结炉中为了减小腔体内壁的外表积,一般用喷砂或电解抛光的办法来取得平整的外表。真空炉中超高真空体系的腔体,更多的是利用电解抛光来进行外表处理。
超高真空腔体的氩弧焊接,原则上有必要选用内焊,即焊接面是在真空一侧,避免存在死角而发作虚漏。真空烧结炉中真空腔体不允许表里两层焊接和两层密封。
真空烧结炉的真空腔体的内壁外表吸附很多的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促使材料外表和内部的气体尽快放出。烘烤办法有在腔体外壁环绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。比较经济简略的烘烤办法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,避免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
不锈钢是现在超高真空体系的主要结构材料。其间300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有***的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270~900℃工作等长处,在高真空和超高真空体系中,使用广泛。
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