气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。

　　真空速凝炉操作前需做好的安全检查 　　真空速凝炉操作前需做好的安全检查？今天小编就带大家了解下吧。 　　1.检查真空速凝炉真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 　　3.检查真空炉体内情况，要求真空炉体内上等卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 　　4.检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 　　5.检查真空速凝炉转动式麦氏真空计是否合乎要求。 　　6.检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 　　7.在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。 　　8.真空速凝炉炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。 　　9.装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。 　　10.为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。 　　11.垫好真空密封胶带。 　　12.凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。 　　13.凡产品加有成型剂(如油或石蜡)，必须脱掉方可入真空速凝炉烧结，否则会造成不佳后果。