真空烧结炉遇到的故障要怎么解决呢 　　任何机器使用时间久了都会出现一些的问题，下面就真空烧结炉出现故障之后该怎么办给大家介绍下。 　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。 　　一、如果是冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、真空烧结炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，真空烧结炉处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二、真空烧结炉压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让真空烧结炉恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让真空熔炼炉停下来。

　　真空烧结炉抽真空分几步　　真空烧结炉抽真空通常需要分为以下几个步骤：　　1.打开主阀门：将烧结炉的主阀门打开，以便将真空泵连接到炉子中并开始抽取气体。　　2.开启机械泵：在真空系统中，通常需要先使用机械泵将大部分的空气和气体抽出。将机械泵打开，并等待一段时间，直到真空度降低到所需水平。　　3.开启扩散泵或分子泵：当真空度降至一定水平时，就可以启动效率高的扩散泵或分子泵，以进一步降低真空度。这些泵可以更有效地抽出气体分子，在实现更高真空度的同时提供更快的抽速。　　4.检查真空度：在抽真空过程中，需要不断检查真空度是否达到预期值。可以使用真空计来监测系统的真空度。　　5.关闭泵：当真空度达到所需水平后，关闭所有泵，并在烧结过程开始之前等待数分钟，以确保系统内的气体已经完全被抽出。　　需要注意的是，不同型号的真空烧结炉和真空泵可能有不同的操作流程，请参考下设备和泵的操作说明书进行具体操作。