真空速凝炉的应急措施 　　真空速凝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，小编就为您介绍压缩空气的停止、停电、加热电源掉电的应急措施。 　　一、压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，真空速凝炉处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　二、停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动真空速凝炉，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　三、加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，真空速凝炉的压力表会报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若真空速凝炉炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　真空烧结炉的安全操作规程26条：　　1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水有必要充溢，水中不得有杂质。　　2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规则值。　　3．查看真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封查询孔中线。查看妥后，人工翻滚真空泵皮带盘，如无失常，可在关闭蝶阀的状况下，建议真空泵。　　4．查看真空炉体内状况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘出色，密封真空胶带具有弹性，标准合格。　　5．查看真空炉体的杠杆手把建议是否灵活。　　6．查看翻滚式麦氏真空计是否符合要求。　　7．查看石墨坩埚，装炉配件是否完全。　　8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频建议规则，试建议变频，成功后连续变频，方可开炉。　　9．真空炉体上盖的查询、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便查询和测温。　　10．装炉时应根据不同烧结产品，采用相应装炉方式。按有关材料装炉规则装盘，不得随意更改。　　11．为了坚持恒温，避免热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。　　12．垫好真空密封胶带。　　13．操作杠杆手把，翻滚真空炉顶盖与炉体亲近重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。　　14．缓缓翻开蝶阀，抽炉体空气，至真空度抵达规则值。　　15．在真空度抵达规则要求后，开始建议变频，调整中频功率，按有关材料的烧结规则操作；升温、保温冷却。　　16．烧结结束后，连续变频，按连续变频开关，逆变连续作业，断开中频电源分闸与断开电源总闸。　　17．从炉体查询孔查询炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，毕竟停水泵。　　18．中频电压750伏有触电风险。在整个操作和查看过程中，要留神操作安全，不要用手触摸中频电柜。　　19．在烧结过程中，随时从炉体周围面查询孔查询感应圈是否产生放弧现象，如发现失常现象，应立即陈说有关人员处理。　　20．建议真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。　　21．正确运用翻滚式麦氏真空计，否则会构成真空读数差错或因操作过急而使水银溢出构成公害。　　22．留神真空泵皮带盘安全工作。　　23．在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，留神避免压手。　　24．凡在真空条件下，简略蒸腾影响真空卫生，构成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。　　25．凡产品加有成型剂(如油或白腊)，有必要脱掉方可入炉烧结，否则会构成不良后果。　　26．悉数烧结过程中，要留神水表压力规模和冷却水循环，避免产生事端。