使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项　　使用气相沉积炉时需要特别注意以下几点。大家一起看看吧。　　1、模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用，加压前计算模具上、下冲头面积，换算成压力。具体公式如下：系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa　　2、热电偶为钨铼型，使用后变脆，不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。　　3、冬季要注意气相沉积炉循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。　　4、使用后炉体应保持真空，炉内保温层容易受潮，保持真空下次抽真空会更快。　　5、设备复杂，建议专人使用，专人负责，严格对初学者进行使用前培训，有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。　　6、气相沉积炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时，请注意在炉内放置坩埚后，合上保温板盖后，不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。　　7、操作前观察窗玻璃清洁，清扫炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨有无损伤，开机后观察仪表显示是否正常，测试液压系统是否正常工作。　　8、气相沉积炉使用一年后，应将仪器送计量部门校准。

　　气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。