气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。

　　真空熔炼炉的主要用于哪些生产制作 　　真空熔炼炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统（由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉。 　　真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。真空熔炼炉炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。zui高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷金属封接等。 　　1、完全消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口）切削性能的改善关系极大。 　　2、对环境无污染，不需进行三废处理。 　　3、真空熔炼炉炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。 　　4、机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。 　　5、能耗低。真空烧结炉加热室采用上等隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果显著。