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气相沉积炉设备组成
发布时间:2017-11-23   浏览:2378次

  气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。

  气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成,炉壳为圆柱形结构,分炉体和炉顶盖、炉底三部分,主要使用Q235钢材,炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构,夹层内设置蛇形导流板,既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力,炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。

  加热及保温层,发热体采用带式合金发热体,分三个加热区,三角形加热,分布在炉腔四周;保温层:采用全纤维炉衬复合保温结构,既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能,成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上,操作与维护非常方便。

  气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢,为保证高温真空下的工作强度,采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空,并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象,采用低电压大电流的供电方式。


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真空烧结炉日常应急策略

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  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面,洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施.   一. 冷却水异常   1、确认加热电源已停止。   2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。   3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。   4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。   二 压缩空气的停止   1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。   2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。   三 停电   1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。   2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。   3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。   四 加热电源掉电   1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。   2、接地故障。   3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。   4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。   五 充气气体(氩气或氮气)停止   1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。   2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。   3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。   4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。   六 真空室压力恶化   1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。   2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。   在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中,高温加热到软化状态时,加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。