真空烧结炉遇故障的紧急措施 　　在真空烧结炉中，利用中频感应加热的原理，在烧结炉中排空后，利用中频感应加热的原理，在烧结炉中产生钨坩埚，使线圈中的钨坩埚通过热辐射进行工作，并对铁及其合金进行粉末形成和烧结。安装电炉的地方必须符合真空卫生的要求。周围空气应干净干燥，通风状况良好，工地不易扬尘等。在使用中，必须了解以下问题。 　　真空烧结炉主要用于半导体元件和功率整流装置的烧结过程，可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结，是一系列半导体特种设备中的一种新型工艺设备，可在一个装置上完成多个工艺流程。还可用于其它领域，如真空热处理、真空真空焊接等。下面，系统介绍了烧结炉的应急措施。 　　***，异常冷却水 　　1.核实加热电源是否停止。 　　2.当炉外发生泄漏，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施。如果能保证水量，请继续保持真空，如果不能采取紧急措施，保持原状，并确认设备已冷却。 　　3.冷却水不正常时，设备处于停机状态，应急冷却水立即接通。 　　4.在高温下，如果冷却水停止，如果不能紧急供水，则水冷电极、热交换器、真空烧结炉的真空室壳体和泵可能损坏。 　　第二，压缩空气的停止。 　　1.压缩空气异常时，设备处于停机状态，备用压缩机房尽快恢复，恢复工作。 　　2.如果压缩空气在真空烧结炉真空中出现异常报警，且恢复时间长，则真空终止，设备停止。

　　真空烧结炉的空气抽不干净是啥原因 　　真空烧结炉在平时的试验中如果有液体存在，就需要一个液体蒸发的过程(高真空下不需要加热也能气化)，可以通过长时间拉真空来气化掉这部分液体从而达到高真空(等稳定)。如果长时间都达不到目标气压的话，就要考虑系统和罗茨泵了，你可以直接测一下罗茨泵的极限真空(不接入其他系统)，若完好则就是系统的密封性能了。 　　(1)水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，真空烧结炉各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。 　　(2)采用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80一100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施，如尽量避免有***的部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。 　　(3)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用：真空烧结炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，因而对这些材料提出了耐高温，蒸汽压低，辐射效果好，导热系数小等要求。对抗氧化性能要求不高。所以，真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些材料在大气状态下极易氧化，因此，常规热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。 　　(4)严格的真空密封：金属零件进行真空热处理均在密闭的真空烧结炉内进行，因此，获得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空热处理炉的一个关键问题，就是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉结构设计中必须道循一个基本原则，就是炉体要采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都必须设计密封结构。 　　(5)自动化程度高：真空甩带炉的自动化程度之所以较高，是因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作内在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在15秒钟以内完成。在这样迅速的条件来完成许多动作，是很容易造成操作人员的紧张而构成误操作。因此，只有较高的目动化才能准确、及时按程序协调动。