真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施. 　　一. 冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二 压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　三 停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　四 加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。 　　五 充气气体(氩气或氮气)停止 　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。 　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。 　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。 　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。 　　六 真空室压力恶化 　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。 　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。 　　在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

　　真空烧结炉是在真空的环境中对被加热的物品进行保护性烧结的一类炉子，其加热方式是有很多种的，例如，电阻加热、感应加热、微波加热等。 　　据使用者了解，在抽真空后充氢气的保护状态下，真空烧结炉利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温并通过热辐射传导到工作上。适用于科研、军工单位对难熔合金如钨钼及其合金的粉末成型烧结。同时，真空烧结炉在真空或保护气氛条件下利用中频感应加热的原理，使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝以及陶瓷材料的工业生产而设计的。 　　此外，真空烧结炉现如今被广泛的应用于碳化硅陶瓷的反应烧结工艺，同时也可用于特种陶瓷材料，硬质合金，陶瓷金属复合材料以及难熔金属组成的合金材料的高温真空烧结。针对一些材料的高温烧结工艺使得真空烧结炉具备不错的耐热性、绝缘性以及可靠性的设计。新型电极结构杜绝了高温炉电极的漏水现象，并且可以加热系统中的易损部件，也更便于维修和更换。