使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项　　使用气相沉积炉时需要特别注意以下几点。大家一起看看吧。　　1、模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用，加压前计算模具上、下冲头面积，换算成压力。具体公式如下：系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa　　2、热电偶为钨铼型，使用后变脆，不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。　　3、冬季要注意气相沉积炉循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。　　4、使用后炉体应保持真空，炉内保温层容易受潮，保持真空下次抽真空会更快。　　5、设备复杂，建议专人使用，专人负责，严格对初学者进行使用前培训，有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。　　6、气相沉积炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时，请注意在炉内放置坩埚后，合上保温板盖后，不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。　　7、操作前观察窗玻璃清洁，清扫炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨有无损伤，开机后观察仪表显示是否正常，测试液压系统是否正常工作。　　8、气相沉积炉使用一年后，应将仪器送计量部门校准。

　　石墨化炉的性能有哪些　　石墨化炉常用于3200℃以内的高温炉。用于各种高导热石墨膜(PI膜)、锂电池正极材料、碳素材料的碳化石墨化，生产碳素材料。碳丝和其他可在碳环境中烧结的材料的成型石墨化。　　石墨化炉结构组成由炉体、炉盖、加热感应器、保温层及电极引出装置、水循环分配系统、真空系统、温控系统等。电器系统由电源采用60KVA、IGBT晶体管中频电源和水冷电缆，中频电源装置设有中频功率、电压、中频频率、直流电压、电流等指示仪表，操作显示器件（中频电源具备零点动功能）。控制回路具备过压、过流、断水等声光报警功能。控制部分以15寸触摸屏和可编程控制器PLC为核心。　　了解了炉子的基本组成结构后，厂家带大家了解下炉子的性能：　　1、使用温度高达2800度，温度均匀性好，设备运行故障率低。　　2、带有红外测温及控温系统，可实时显示并PID自动控制(如下图)炉内的温度，生产的产品质量稳定。同时保障产品的要求。　　3、采用三相电供电方式，三相电力平衡，性能稳定。不象碳管炉采用单相供电，相电压不平衡，对电网冲击大，影响其他设备运转。　　4、使用温度高，高温度可达3000℃，石墨化炉可工作在2600-2800℃　　5、采用碳毡做保温材料，没有使用碳黑，更换碳管方便，同时干净卫生。　　6、升温时间短，可达200℃/小时。　　7、炉体密封性好，保护气体损耗小。所有法兰和炉盖都采用密封条进行密封。　　8、炉体内胆和法兰采用不锈钢制作，不生锈，使用寿命长。　　9、石墨化炉配有真空泵用于炉内气体的置换，换气时间短，用气量少。