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如何检测真空烧结炉是否漏气?
发布时间:2017-08-26   浏览:2557次

  真空烧结炉炉内的气氛对烧结产品的表面处理效果有直接影响,而炉内的气氛取决于工业炉的气密性。因此,要保证烧结效果,就要保持真空炉的气密性良好。那么,如何检查真空炉的气密性呢?

  首先,确定***部位。检修时,炉体和管道部分是检查的关键部位。真空烧结炉的顶盖、底盖、穿带孔、检修门、入口密封辊缝、炉壳、膨胀节、炉辊法兰等都需要仔细检查。

  其次,正压部分检查。观察分析仪测量数据,当残氧量突然升高时,就可能是真空烧结炉的炉壳或循环管道发生了泄漏现象。此时就需要使用氢气探测仪对真空炉内的氢气进行检测。

  *,负压部分检查。真空炉的循环风机吸入端为负压,如果负压部件发生泄漏现象,空气就会被吸入炉内,导致烧结不充分,影响工件烧结效果。通过观察在线分析仪测量数据变化,可以判断出风机是否泄漏。

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23 October 2017
真空烧结炉日常应急策略

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  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面,洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施.   一. 冷却水异常   1、确认加热电源已停止。   2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。   3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。   4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。   二 压缩空气的停止   1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。   2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。   三 停电   1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。   2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。   3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。   四 加热电源掉电   1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。   2、接地故障。   3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。   4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。   五 充气气体(氩气或氮气)停止   1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。   2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。   3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。   4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。   六 真空室压力恶化   1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。   2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。   在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中,高温加热到软化状态时,加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。