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真空甩带炉的结构特点
发布时间:2023-08-15   浏览:2730次

  真空甩带炉的结构特点

  真空甩带炉是一种常用于半导体、光电子、新材料等领域的热处理设备,具有以下结构特点:

  1.炉体结构:真空甩带炉的炉体结构通常采用立式设计,由炉膛、耐热隔热层和外壳组成。炉膛内部通常采用高温合金材料或陶瓷材料制成,能够承受高温和真空环境。

  2.甩带机构:真空甩带炉中的主要部件是甩带机构。甩带机构由驱动装置、输送带和张紧装置组成。输送带采用耐高温的合金材料制成,并通过驱动装置带动输送带进行循环运动,以实现物料的连续输送和热处理。

  3.加热系统:真空甩带炉的加热系统通常采用电阻加热器、感应加热器或辐射加热器等方式。根据热处理要求,加热系统可提供各种加热方式和分区控制,以实现对物料的精确控温。

  4.真空系统:真空甩带炉的真空系统用于提供所需的真空环境。真空系统包括真空泵、真空计、气体冷凝器等设备,能够实现高真空或中真空处理。

  5.控制系统:真空甩带炉配备先进的控制系统,可对温度、气氛、输送速度、真空度等参数进行实时监控和调节。控制系统通常采用PLC、触摸屏等自动化设备,实现精确的热处理过程控制和数据记录。

  总体而言,真空甩带炉具有结构紧凑、操作方便、加热均匀、真空度高等特点。它可以实现对物料的连续处理和精确控温,广泛应用于高温热处理、石墨化、脱气、退火等工艺过程。但是,具体结构特点还会受到不同制造商的设计和技术水平的影响,因此在选择和使用真空甩带炉时,还应考虑到实际需求和设备的性能指标。


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