真空烧结炉是可进行真空烧结的的工艺，是半导体专用设备中一种新颖的工艺装备，可用于其他领域内的真空热处理工艺。当烧结炉出现冷却水异常怎么办? 　　发现工业炉出现异常时，要先确认加热电源是否已经停止。如果真空烧结炉炉外发生漏水，冷却水量异常时，应立即采取一些应急措施。如能保证水量，继续保持真空;如不能则保持原状，确认设备冷却下来。 　　如果冷却水出现异常时，真空烧结炉处于停止状态，则立刻接通紧急用冷却水。在保持高温时，冷却水就会停止，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵极有可能会被损坏。 　　因此，在使用高温热处理炉、真空速凝炉等此类工业炉时，一定要注意冷却水是否异常，要时常检查设备，做好平日的维护，才能延长设备使用年限。

　　高温热处理炉加热体出现故障应该如何修理?像真空烧结炉此类的工业炉加热体长期工作会出现变软、膨胀、下坠等现象。那应该如何让修理呢? 　　为了使炉丝在高温下具有一定的强度，先要设计好炉丝的结构尺寸。安装高温热处理炉加热体时要紧靠炉衬，在搁砖上要放平，留有膨胀空间。此外，为防止炉丝之间相互接触，要垫隔离片。 　　炉丝有倒伏现象的，要检查高温热处理炉炉丝小钩是否还有用，并且可以用气焊使其变软，再恢复到其原有的形状和尺寸。如果同时使用两根瓷管，瓷管端头必须紧靠。 　　加热体对一般断头可以直接进行焊补，对于局部损坏严重的，可采用换补一段的方法，不过要注意用于补焊的电阻丝的材料、直径等要符合原技术要求。