真空烧结炉冷却水异常怎么办
发布时间:2016-12-05 浏览:2291次
真空烧结炉是可进行真空烧结的的工艺,是半导体专用设备中一种新颖的工艺装备,可用于其他领域内的真空热处理工艺。当烧结炉出现冷却水异常怎么办?
发现工业炉出现异常时,要先确认加热电源是否已经停止。如果真空烧结炉炉外发生漏水,冷却水量异常时,应立即采取一些应急措施。如能保证水量,继续保持真空;如不能则保持原状,确认设备冷却下来。
如果冷却水出现异常时,真空烧结炉处于停止状态,则立刻接通紧急用冷却水。在保持高温时,冷却水就会停止,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵极有可能会被损坏。
因此,在使用高温热处理炉、真空速凝炉等此类工业炉时,一定要注意冷却水是否异常,要时常检查设备,做好平日的维护,才能延长设备使用年限。
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