气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　关于真空烧结炉组件介绍 　　真空烧结炉主要用于金属陶瓷材料、复合陶瓷材料、纳米相材料，梯度功能材料，介孔纳米热电材料，高熔点材料及耐火材料等材料的快速、高品位热压烧结。广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理，也可在充气保护情况下热压成形烧结。 　　下面介绍下炉体组成部分： 　　炉体部分：炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走，使炉壁温度不超过60℃，其上下法兰焊接为一个整体。中间开有红外测温孔(有保护气氛通气口)，热电偶测温孔、抽气孔及观察孔，铂铑热电偶有到温自动退出装置，红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置，操作人员使用的观察孔设有挡板。 　　炉体上是炉盖，它是有内外封头和法兰组成，中间水冷炉盖吊在启闭机构上，板动启动机构上的手柄可以将真空烧结炉炉盖升启10－15mm，炉盖上有压头，压力传感器、排气隔膜阀及炉盖锁紧装置。 　　炉底部分：它也是由内外封头和法兰组成，中间水冷，固定在炉体底部，有电极引入，下压头进气隔膜阀等组成，并装可调节高度位移传感器。 　　炉架上有上梁、炉架、底及立柱等组成，作为上下压头支座。 　　炉内发热元件采用石墨，保温材料采用石墨毡及石墨筒为隔热屏，上、下压头采用高强度石墨。 　　液压采用电动输入方式自动调节，配有液压锁及转向阀等相关装置，压力、位移均采用数显方式。 　　真空烧结炉真空系统采用2X-30机械泵(配电磁放气阀)及K-200油扩散泵，同时设有冷阱及机组。真空测量为复合真空计。真空系统还配有放气阀、充气阀，真空连接软管采用不锈钢金属软管。