气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　真空烧结炉原理是什么 　　真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 　　一、主要原理及用途 　　真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。 　　二、主要结构及组成 　　结构形式多为立式、下出料方式。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及高及保温材料)、进电装置、中频电源及电气控制系统等。 　　三、主要功能 　　在抽真空后充入氢气保护气体，控制真空烧结炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0～℃)，并通过智能控温仪与设定程序相比较后，选择执行状态反馈给中频电源，自动控制温度的高低及保温程序。