真空烧结炉容易漏气的点及检测方法　　真空烧结炉炉内的气氛会直接影响产品的表面处理效果，炉内的气氛由真空炉的气密性决定，如果要保证工件质量，先要保持真空炉的气密性良好，但真空烧结炉的气密性检查难点在于炉体面积大、管道复杂，并且容易泄漏的部位比较多，因此对真空烧结炉的气密性检查要形成制度化。下面八佳电气就介绍真空烧结炉容易漏气的点及检测方法：　　一、真空烧结炉气密性检查的重要部位：　　1、检修时替换设备的部位。检修时动过的炉体和管道部分，都要作为检查的关键部位。　　2、开启过的顶盖、底盖、穿带孔、检修门。　　3、进口密封辊缝。　　4、炉壳和循环管道上的膨胀节，炉辊法兰、换热器法兰、各外表法兰和焊口等。　　5、水冷高温计、摄像头、水冷换热器等。　　6、分析仪取样管接头等。　　二、正压部分的检查　　正常生产过程中，退火炉要保持在150-300Pa的微正压。　　1、泄露的判别。查询在线氧气ppm分析仪测量数据，当某段残氧量忽然显着升高时，就可能是炉壳或循环管道发生泄露。　　2、泄露的点检查方法和东西。东西室氢气探测仪。方法是确保炉内氢气在3%以上，用便携式氢气探测仪检查通过承认漏气炉段的气密性，重要部位是顶检修焊缝等。当检查到漏点部位时，氢气探测仪会发生报警。　　三、负压部分的检查　　循环风机的吸入端为负压，假定负压部位发生泄露，空气就会被吸入炉内。　　1、泄露的判别。通过查询在线分析仪测量数据改动，就能够判别这台风机是否有泄露。　　2、泄露的点检查方法和东西。负压泄露的点的检查能够通过上述方法，将负压变成正压，然后运用氢气探测器检查，也能够运用专门用于负压检漏设备——氦气检漏仪进行检查。　　四、泄露的点要如何处理　　退火炉总是处于作业情况，关于一些漏点能够采用打高温密封胶等方法做暂时处理，要等有停炉的时机再做完全处理。　　对开裂部位进行补焊;现已老化或损坏的密封垫、圈要替换；替换出现缝隙的部件例如膨胀节等；对松动的螺栓进行紧固；涂改高温密封胶。

　　真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢 　　真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。 　　因此，真空烧结炉在结构上应满足以下要求： 　　(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。 　　(2)具有气密性，即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。 　　(3)炉内的各段温度可控，烧结气氛可调。 　　(4)具有快速冷却装置，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。 　　真空烧结炉使用的注意事项 　　(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气完全被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。 　　(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。 　　(3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。 　　(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。 　　(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。 　　(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。 　　(7)除了因维修要停真空烧结炉炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。