实验气相沉积炉怎么安装呢　　实验气相沉积炉怎么安装呢？今天和大家介绍下详细的步骤。　　1.气相沉积炉不需特殊安装,只需平放在室内地面或台架上。控制器应放在工作台上，工作台面的倾斜度不得超过5度。控制器离电炉距离不得少于0.5米，控制器不宜放在电炉上面,以免影响控制器正常工作。　　2.与控制器及实验电炉相连的电源线，开关及熔断器的负载能力应稍大于实验电炉的额定功率。　　3.接线时，先转松控制器外壳左右两侧的螺钉，然后将罩壳上翻，按图示接好电源线。控制器与电炉的连线及热电偶连接线。将热电偶从热电偶固定座的小孔中插入炉膛，孔与热电之间间隙用石棉绳堵塞，然后固定。　　4.检查接线无误后即可通电，先合上气相沉积炉电源开关,然后将控制器面板上的钮子开关拔向开的位置，调节设定按钮,把温度设定到您所需要的度数上，如果把设定开关拔向测量位置上，红灯灭，亦有接触器的吸合声响，电炉通电,电流表指示加热电流值，温度随炉内温度升高而徐徐上升，说明工作正常。当温度上升至设定的所需要温度时,红灯灭，绿灯亮，电炉自动断电，停止升温。稍后，当炉内温度稍微下降，绿灯灭，红灯亮，电炉又自动通电。周而复始，达到自动控制炉内温度的目的。　　5.为了检查断偶保护装置是否正常工作,其方法是：松开热电偶一端,此时测温指示迅速上升到高点亦自动切断加热电源,则断偶装置良好,重新接好的热电偶后,可正常工作。　　6.烘炉，当电炉头一次使用或长期停用后再次使用时，必须进行烘炉。其过程如下：当室温升到200℃4小时，当200℃到600℃4小时，当600℃到800℃2小时(关闭炉门)。　　7.使用气相沉积炉完毕，先将控制面板上的钮子开关拔向关的位置，然后切断总电源开关。

　　气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。